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铁电材料在二十世纪二十年代就已问世,铁电薄膜技术始于二十世纪七十年代,随着成膜技术的发展,这种新颖的功能材料已广泛应用于电子技术、激光技术、红外探测技术以及其它工程技术方面。Pb(Zr,Ti)0_3,(通常简写为PZT)是二十世纪五十年代初出现的一种铁电材料,由于其介电、铁电、压电及热释电性可通过改变Zr/Ti的份量比以及掺杂的方法得到改善,因此倍受国内外的关注。 本文基于前人的实验理论,率先研究了锆钛比为94/6的锆钛酸铅薄膜的性能。实验中薄膜样品的结构为Pt/PZT/