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本文对Padé逼近在溅射输运理论中的应用进行了研究。文章证明了Glazov推导出的积微分方程是不正确的，动量和能量淀积分布函数所满足的传统Boltzmann输运方程与Glazov方程并不等价。所以，由Glazov推导出的分布函数在靶表面的“奇点”起源于这种“不等价”。事实上，由Glazov方程推导出的一切结果就都成问题了。另一方面，用与G1azov同样的算法和精度(n=300阶矩，28位小数)重复了Glazov的计算，发现当k≥37时，能量和动量淀积分布函数的傅立叶变换像函数f(k，η)和f<,L>(k)发散。提高精度(n=1200阶矩，600位小数)不能消除这种发散，所以这种发散是本质上的。这证明Glazov的算法是不能成立的。为了克服这个困难，本文引入了Padé逼近。