本文主要内容共6章.第一章简单介绍了电子束曝光技术的背景知识,包括国内外电子束曝光技术的发展过程和趋势、电子束曝光机以及图形发生器的研制与应用.图形发生器是计算机与曝光机<[1]>之间的一个高速执行部件,也是最复杂的部分之一.本课题研制图形发生器的DSP控制器是为了适应高速特殊图形的扫描.其主要作用是将计算机经过USB传来的单元图形数据,由图形发生器(Pattern Generator)中硬件单元依次产生要曝光的各点X、Y坐标值,再将这些值经过高速度、高精度数模转换器(D/A)变换成对应的模拟量,驱动偏转放大器以控制电子束偏转,对掩模或硅片进行扫描曝光.其功能包括传输和检测控制,产生矩形、梯形、圆及圆环图形,展开图组和图库,扫描控制,外围显示及电源控制.与传统的图形发生器相比,由于DSP运算精度高,运算速度快的特点,DSP图形发生器具有很多的优势.从系统结构上看,DSP图形发生器以VC33-C板为核心进行扩展.新扩展FIFO用来与PC机通讯,FIFO采用IDT公司的IDT7202芯片,初步设计两片FIFO,一片用于PC机向DSP传输数据,另一片用于DSP向PC机传输数据.现选定PC机与DSP采用USB通讯.在本课题中USB通讯采用的是哈尔滨工业大学迅通电子科技有限公司开发的USB100模块.FLASH用于存储开机引导程序.扩展I/O以便控制图形发生器的各寄存器、计数器.扩展RAM用于存放库图索引以及存放图库数据.在图形发生器软件系统中简介绍了现在流行的COFF文件格式,以及图形发生器接受的DY51图形数据格式.进一步分析了系统的传输检测、寄存器自检、校正控制、标记检测,对各种图形的扫描分析和控制.其中对各种图形数据的扫描分析是DSP图形发生器控制器工作的重点.本课题设计的DSP图形发生器控制器,运算速度快,运算精度高,达到了课题项目的设计要求,并为下一步的图形发生器的扩展研究打下了一定的基础.