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静电驱动力作为微机电系统(MEMS)中一种重要的驱动力与检测技术,被大量应用于微泵、微马达、微谐振器、加速度计等微器件中。它具有高灵敏度、精度高、响应速度快、容易制造等优点。谐振式微静电驱动机构是MEMS器件中比较典型的机构,也是机电耦合的关键元件,其动力学特性和控制的研究具有比较重要的理论和实际应用意义。本文针对谐振式微静电驱动机构的静电力和动力学等方面的问题深入研究。研究的主要内容和结论如下：1、本文以双端固谐振式微静电驱动机构作为研究对象。根据谐振式微静电驱动机构与平行板电容器