EACVD金刚石膜沉积设备的小型化技术研究

被引量 : 11次 | 上传用户：mengpiaoyao

【摘要】

：

电子辅助化学气相沉积法(Electron-Assisted Chemical Vapor Deposition,简称为EACVD)是制备金刚石膜的重要方法之一,该法具有设备简单、生长易控制、膜层质量好等优点。为了促进金刚石膜在光学窗口材料中的应用,小型化金刚石膜沉积设备的研制开发已成为非常迫切的课题。本文在对EACVD法制备金刚石膜的工艺要求以及影响因素进行详细分析的基础上,设计出了用于制备平面、

【作者】

：

曾荡

【机构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2007年03期

【关键词】

：

EACVD 金刚石膜小型化摆动衬底 NCD 模糊PID混合控制模糊PID自整定控制

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

济阳坳陷石炭-二叠系煤成气成藏动力学系统研究

本论文以成藏动力学系统为指导,充分分析了济阳坳陷C-P煤成气研究及勘探现状,确定了济阳坳陷C-P煤成气藏勘探应解决的关键问题包括构造演化史、生烃史、成藏史.本文将成藏动

学位

成藏动力学济阳坳陷煤成气煤成气藏勘探构造演化史生烃史成藏史

新课改下的小学语文课堂教学发展方向

期刊

土木建筑工程的质量影响因素与管理

在建筑工程质量管理中,存在一些因素会影响到质量管理的有效性.对于管理人员来讲,就要认识到这些因素带来的具体影响,然后从落实管理、创新管理以及问题预防和处理这些方面出

期刊

建筑工程施工质量影响因素有效对策

新型液压支架换向阀性能分析与研究

随着我国煤炭能源需求的持续增长，对煤矿开采提出了更加高产高效的要求，液压支架是综采工作面能否实现高产高效的关键设备，换向阀是液压支架系统中的重要控制元件，其性能的优劣直

学位

液压支架大流量换向阀硬密封压差-流量特性操纵力矩试验

疏松砂岩中油层套管的受力状况与损坏机理研究

该论文以孤岛油田为背景,对1000多口套管损坏井的损坏特征及其成因进行了统计分析和实测研究,在此基础上,建立了不同的地质力学模型,对不同类型套损井的受力工况做了理论分析

学位

疏松砂岩油层套管套管损坏应力数值模拟力学模型出砂

穷山沟里开富路——榆中县银山乡实施“双培双带”工程成效显著

奇峰对峙石头山,山涧蜿蜒公路线,依托优势求发展,共建小康富家园。这是榆中县银山乡今天的缩影。改革开放以前,这里的山是和尚头,这里的地上无水流,百姓讨饭往金城流,锅里煮

期刊

穷山沟银山乡土地承包到户工程成效公路线富民政策基层党组织兴办公益事业产业结构调整工作思路

城市客车动力传动系统优化匹配的研究

城市客车的动力传动系统对整车动力性和燃油经济性有着很大的影响，所以客车动力传动系参数的确定成为城市客车设计中的一个重要部分。本文主要研究城市客车动力传动系统的优化

学位

城市客车动力传动系统数学模型燃油经济性

致病微生物新型检测方法及预防体系应用研究

致病微生物的存在,是严重影响我国食品安全控制与监督工作开展质量的代表性因素,选择运用适当方法对食品中包含的致病微生物展开检验揭示,对于支持和确保我国食品安全与控制

期刊

食品致病微生物新型检测方法预防体系研究分析

运用空白艺术,让高中小说教学充满魅力

高中小说教学是整个高中教育不可或缺的重要部分.因此, 如何让高中小说教学充满魅力, 提高小说教学的课堂效率,成为全体高中语文教师的工作重点.高中语文教师在小说教学中要

期刊

高中教育小说教学空白艺术课堂效率

小秦岭金矿田地球化学特征及综合研究

小秦岭金矿田地球化学特征及综合研究摘要该文通过对小秦岭金矿田40多年来的地、物、化、遥和矿床勘探、开采等资料的综合整理,充分利用已有的地质科研成果,对区内古老的变质

学位

小秦岭金矿田矿床地球化学S60金矿脉成矿预测

EACVD金刚石膜沉积设备的小型化技术研究

与本文相关的学术论文