【摘 要】
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压电陶瓷是一种能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料。在压电材料中,由机械应变产生可测量电荷的现象称为压电效应;反之,由于电场的作用而产生机械应变的现象称为逆压电效应。压电陶瓷执行器是应用逆压电效应而制作的精密定位机构。压电陶瓷执行器因其体积小、精度高、响应快、机电耦合效率高、承载大、功耗小、无噪声等优点,而被广泛应用于航空航天、数据存储、光电通信、精密测量、生物医疗以及半导体技术等领域。在本课
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压电陶瓷是一种能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料。在压电材料中,由机械应变产生可测量电荷的现象称为压电效应;反之,由于电场的作用而产生机械应变的现象称为逆压电效应。压电陶瓷执行器是应用逆压电效应而制作的精密定位机构。压电陶瓷执行器因其体积小、精度高、响应快、机电耦合效率高、承载大、功耗小、无噪声等优点,而被广泛应用于航空航天、数据存储、光电通信、精密测量、生物医疗以及半导体技术等领域。在本课题中,我们将其应用于腔衰荡光谱(CRDS:cavity ring-down spectroscopy)技
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