【摘 要】
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金属粉末的激光微成型技术是目前国际上激光微成型领域的前沿研究课题,该文从微机械MEMS的发展入手,概述了微机械的国内外现状,阐明了微机械的发展依赖于微制造技术水平的发
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金属粉末的激光微成型技术是目前国际上激光微成型领域的前沿研究课题,该文从微机械MEMS的发展入手,概述了微机械的国内外现状,阐明了微机械的发展依赖于微制造技术水平的发展,通过介绍微机械加工的各种工艺方法,特别是全面介绍了激光微加工技术的现状后,对MEMS微细加工的要求不仅向缩小尺寸和提高精度等方向进行,而且越来越向着加工多样化的方向发展,有了更加深刻、清晰的认识.该文提出了金属粉末材料激光熔化沉积微成型的关键技术:即微细粉末的输送和汇聚技术以及激光的精细聚焦技术,这是实现送粉激光微成型的关键.并对此进行了研究,目前这两方面的研究都取得了阶段性的成果:研制的微细粉末送粉器可以精确、稳定输送微米甚至纳米粉;采用Nd:YAG环形腔外倍频的方法获得了短波长532nm,聚焦光斑降低至15微米以下的激光.该文还研究了YAG、CO<,2>与准分子激光与金属末材料的相互作用规律,通过大量试验分析了激光扫描金属粉末材料的球化效应,采用金属粉末材料的激光选区烧结工艺,通过优化工艺参数,成功地进行了激光微成型.
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