碳纳米管是一种新型的纳米材料,因其结构中碳原子间显著的共轭效应而具有良好的导电性和微波导通特性,并且具有很好的热传导性能,在MEMS传感器、纳电子器件及集成电路等领域应用广泛。本文以碳纳米管作为加热元件制作微气泡发生器,利用焦耳热在微流体中产生微气泡。该微气泡发生器具有低功耗、高集成度、制备工艺简单的特点,可望应用于热喷印中。本文首先对碳纳米管微气泡的MEMS制备工艺进行了实验研究,主要工艺步骤包括在玻璃上用光刻、磁控溅射工艺制作出微电极,通过介电电泳的方法在微电极间装配碳纳米管,再采用磁控溅射制作二氧化硅掩模层。本文还分别对碳纳米管微气泡发生器在空气中和液体环境下的电性能和电热性能进行了研究。在空气中,自加热可以改善碳纳米管和金属电极的接触,减小接触电阻;研究了器件电阻随温度的变化关系,实验测量得到多壁碳纳米管碳纳米管具有线性的负温度系数;研究了器件的高频特性,实验测量得到交流驱动时会使器件产生容性阻抗的特征频率( f c),覆盖掩模层可提高器件特征频率。通过搭建的测试系统对器件在液体中的动态特性进行了研究,包括微气泡的成核与生长、动态特性及功率与成核时间、生长速度的关系;通过对电流、电压的实时采集研究了气泡产生过程中的功率特性。为了将器件应用于热喷印并消除次液滴现象,我们还对双加热器结构的微气泡发生器进行了实验研究,在开放的液体环境下实现了双气泡的融合与驱动的匹配。