【摘 要】
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该工作研究电极材料对PZT(40/60)铁电薄膜性能的影响,提出了氧化物电极Iro可以有效地改善PZT薄膜的疲劳性能.采用磁控反应溅射工艺,在SiO(500nm)/Si(100)衬底上制备IrO薄膜及
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该工作研究电极材料对PZT(40/60)铁电薄膜性能的影响,提出了氧化物电极Iro<,2>可以有效地改善PZT薄膜的疲劳性能.采用磁控反应溅射工艺,在SiO<,2>(500nm)/Si(100)衬底上制备IrO<,2>薄膜及Pt/IrO<,2>、Ir/IrO<,2>复合电极薄膜.靶材选用Ir靶(Φ75mm,纯度99.99﹪)和Pt靶(Φ150mm, 纯度99.99﹪)预溅制得的IrO<,2>薄膜为非晶态,经适当温度退火后转变为结晶态,其电导率有很大程度的提高.
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