加工过程中一般都伴随着振动的产生，这些振动都或多或少的对加工质量产生影响，尤其在精密加工中，加工振动的影响往往不可忽略。实测结果表明：振动会使设备的加工精度降低一至二级，以至达不到合格要求，严重时还会降低精密加工设备的使用寿命，甚至损坏精密加工设备。因此对加工过程振动的研究，就能够更好的为提高加工质量，减少加工过程中的影响因素提供依据。 本研究在总结国内外金刚石机械研磨研究的基础上，提出了金刚石弹性浮动研磨装置，在传统研磨装置上引入了弹性梁和弹性垫，增加弹性系统的减振作用，提高了系统的柔性。但从已有的加工实验数据来看，研磨加工振动仍是影响加工质量的主要因素。因此，寻找到降低研磨振动的途径，进而改善弹性浮动研磨系统的振动情况，对提高研磨加工质量具有重要的实用价值。本文针对研磨振动模型的特点，提出了Gauss-Newton非线性最小二乘算法作为拟合研磨加工振动信号的算法。同时为解决此方法对拟合初值的高要求，使用了小波包分解系数重构的方法来重构相应的谐波时域波形，进而得到各谐波的振幅和相位初值。经在搭建的悬臂梁多频率强迫振动响应平台采集的信号和一组具体加工实验数据的处理，证明此方法能有效地拟合实际信号，并提取出信号中的主要谐波成分。通过对金刚石弹性浮动研磨加工中的研磨速度，研磨压力和研磨悬臂梁长等加工工艺参数，进行单因素对比实验，根据采集并处理得到的振动频谱图，优化了加工工艺参数。对其中的研磨速度和研磨悬臂梁长等工艺参数下振动频谱，进行了相应的振动谐波提取，从中寻找到加工工艺参数对研磨振动影响的规律，为研磨机构的改进提供了依据。