【摘 要】
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该文采用溶胶-凝胶法合成了SrBiTaO（SBT）粉体,并在Pt/Ti/SiO/Si基片上制备了SBT铁电薄膜.通过差热-热重分析（DSC-TG）、X射线衍射（XRD）、X射线光电子谱（XPS）、等离子发射光谱（ICP）、红外
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该文采用溶胶-凝胶法合成了SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>（SBT）粉体,并在Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上制备了SBT铁电薄膜.通过差热-热重分析（DSC-TG）、X射线衍射（XRD）、X射线光电子谱（XPS）、等离子发射光谱（ICP）、红外光谱（IR）、扫描电镜及能谱（SEM and EPMA）、原子力显微镜（AFM）、透射电镜（TEM）等技术手段对SBT制备工艺中溶胶-凝胶反应机理、凝胶的结晶行为及SBT粉体的形貌特征进行了较为系统的研究,进而研究了化学组成和热处理工艺对Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上SBT薄膜的显微结构及其铁电性能的影响.研究结果表明,以乙醇钽、醋酸锶、硝酸氧铋为原材料,分别以乙二醇或乙二醇单甲醚为溶剂,在pH值为3.5的条件下,均可制备出稳定的SBT溶胶和凝胶.用无机盐代替醇盐作为锶和铋的前驱体,可克服溶胶对空气中水分的敏感性,从而大大简化了SBT薄膜的制备工艺.
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