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非透明模板双向视觉对准系统设计与控制算法研究
【摘 要】
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微电子封装是微电子制造的重要环节,而高精度和高效率的对准直接决定了微电子封装的质量。常见的微电子芯片封装模板有透明模板和非透明模板两种,非透明模板与透明模板的不同点在于光路不能直接通过模板,光路系统的设计较为复杂。非透明模板的对准,一般使用单相机在垂直方向分别对上下模板进行图像采集,然后通过图像处理实现对准,但垂直方向距离较大会产生位移误差,影响对准精度,所以需要对非透明模板的对准进行光路设计。此
【出 处】
：
南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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