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超磁致伸缩薄膜(GMF)作为一种新型的功能材料,依靠其较大磁致伸缩系数、高磁机耦合效率、极快的响应速度等显著优点,在微型装备制造领域显示出广阔的应用前景,国内外学者也逐渐开展超磁致伸缩薄膜微传感器件的研究。但目前对其与特殊气敏材料相结合,开发成微型气体传感器件的性能特点还未得到广泛认知。本论文则以该新型功能材料与具有气敏特性的敏感涂层相结合作为研究对象,研究其低磁场下的静动态特性,并探索性地应用到气体检测中,研制一种质量型微气体传感器,为GMF的静动态磁机耦合特性及其微传感器的研究提供一些新的思路和方法。针对GMF的磁致伸缩特性和对驱动磁场的要求,采用赫姆霍兹组合线圈作为外部驱动磁场,选择激光微位移传感器作为位移量的检测单元,开发了一套具有气敏涂层的GMF静动态磁机耦合特性的实验系统。经有限元分析和实验验证,该线圈提供的驱动磁场有较好的轴向均匀度和强度。在此基础上,结合非线性弹性理论,建立了悬臂梁式具有气敏涂层的GMF静态磁机耦合模型及悬臂梁末端位移方程,实验结果发现所提出的模型可较好地预测薄膜低磁场下的磁滞回线,而且具有气敏涂层的GMF表现出更好的低磁滞性和灵敏性。在针对具有气敏涂层的GMF动态振动特性实验过程中,GMF表现出n阶超谐波共振性,且前三阶超谐波共振的效果与主共振具有可比性。利用其良好的一阶主共振效果,将悬臂梁式GMF应用到乙醇气体微传感器的设计开发中,并搭建了乙醇气体敏感度的测试实验装置。实验结果表明:在乙醇气体浓度为100～600ppm范围内,微悬臂梁振动响应有较好的线性度和灵敏特性。综上所述,本论文所研制的具有气敏涂层的GMF,在所开发的磁机耦合特性实验系统中表现出良好的静动态特性,应用其悬臂梁式结构设计的质量型微气体传感器对乙醇气体浓度有较好的振动响应,研究结果为GMF在微传感器件的应用提供一定的参考价值。