【摘 要】
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该文采用脉冲激光沉积法(PLD)在SrTiO(100),MgO(100)和LaALO(100)上成功地制备了高质量的BaTiO外延铁电薄膜,并研究了沉积条件对薄膜结构的影响以及用BaTiO单晶靶、BaTiO:Ce
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该文采用脉冲激光沉积法(PLD)在SrTiO<,3>(100),MgO(100)和LaALO<,3>(100)上成功地制备了高质量的BaTiO<,3>外延铁电薄膜,并研究了沉积条件对薄膜结构的影响以及用BaTiO<,3>单晶靶、BaTiO<,3>:Ce单晶靶和BaTiO<,3>陶瓷靶制备的薄膜的特性.
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