微细电火花铣削加工是高硬度材料、复杂三维微细型腔的主要加工方法之一。但由于微细尺度加工下的高电极损耗，电极的补偿一直是该领域的难点及热点之一。论文就此提出基于锥形电极的微细电火花铣削定长补偿方法，旨在得到三维微细型腔高效高精度的电火花加工工艺。论文设计了基于图像检测的线电极磨削装置；利用MATLAB对检测到的电极图像进行处理，自动测量和分析微细电极的加工质量。建立了定长补偿模型；实验研究了电极旋转对微细电极形状的影响；并实验研究了锥形电极形状的稳定性。研究表明，定长补偿下经过一定的加工长度后可以得到稳定的锥形电极端面。基于锥形电极，修正了定长补偿模型；实验验证了该模型的正确性；实验研究了补偿长度对锥形电极底角及加工深度的影响；加工了具有复杂微细槽的典型样件；此外还提出一种基于图像处理的相对体积损耗比精确测量方法。基于实验结果，得到了补偿长度与实际加工深度的拟合曲线；对于三角形的待加工截面，提出了以波浪形为加工目标的补偿算法；采用了单层两次、相邻层变换方向的加工工艺方法；得到三维微细型腔定长补偿加工的整个工艺；并加工出高精度微细平底型腔典型工件；验证了该工艺方法的正确性。