【摘 要】
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本文介绍了半绝缘半导体SiC材料的一些性质,对SiC材料的制备方法进行了一些简单的介绍。重点研究了其电学参数的测试方法:霍尔测试法和COREMA测试法。传统的霍尔测试法主要是
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本文介绍了半绝缘半导体SiC材料的一些性质,对SiC材料的制备方法进行了一些简单的介绍。重点研究了其电学参数的测试方法:霍尔测试法和COREMA测试法。传统的霍尔测试法主要是利用范得堡结构进行高温测试,通过测试获得了SiC单晶材料电学参数和温度特性的一些关系。COREMA即非接触电阻率面分布测试法,已经被广泛应用于半绝缘半导体测试中,主要用于高阻测量,具有操作快速、无破坏性,测量时无需样品处理、制备,测量晶片尺寸可达200mm,具有高分辨率图示,适用于晶圆生产和工艺开发等优点。通过对COREMA测试法用途及原理的介绍,并用COREMA测试法对电阻率、电子迁移率、电阻率和温度的关系进行了测试研究。通过比较,可以很清楚的知道此方法在成本、速度、无损伤、可重复性及横向分辨率方法都优于传统方法。
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