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ZnO薄膜是一种具有纤锌矿结构的半导体材料,作为一种具有宽带隙、低介电常数、高化学稳定性及优异的光电、压电特性的功能材料在许多领域尤其是光电器件领域有着重要应用。近年来,对其研究和开发在国内外科学界及工业部门引起了极大的关注和兴趣。本文用含有ZnC12的二甲基亚砜溶液做电解液,采用阴极电沉积的方法在导电玻璃上制备了ZnO纳米薄膜。研究了沉积参数对ZnO薄膜的结构和性能的影响。采用X-射线衍射、扫描电镜测试、吸收谱和霍尔测试等手段对薄膜的结构及光电性能进行了系统的表征。XRD分析表明