频率调制开尔文力显微测试系统的开发和应用研究

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扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)发展到今日已经广泛应用在科学研究的各个领域。根据扫描过程中提取信号的不同,扫描探针显微术衍生出许多分支,可以满足不同测试分析的需要。在SPM家族中用于材料表面电势测量的测试系统称为开尔文探针力显微镜(Kevin Probe Force Microscope,KPFM),它对于测量导体、半导体的功函数方面具有不可替代的作用。二维异质结材料因其优异的光电特性受到广泛的关注,使用KPFM测量两种半材料之间的功函数差值是深入探讨其工
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