基于65nm CMOS工艺的ECC eFuse 1KB电路设计

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随着CMOS工艺的不断发展,传统熔丝工艺与其不兼容性成为制约集成电路发展的重要问题之一,新兴的电可编程熔丝(Electronically Programmable Fuse)技术因其与CMOS工艺的兼容性、执行冗余以及封装后可编程的优势,而获得广泛的关注与研究。本文详细介绍电可编程熔丝的工作原理,并分析影响其性能和可靠性的相关因素;设计了一款具有ECC功能、出现“坏点”可替换的熔丝电路;并在此基础上对整体电路及核心模块进行仿真验证;最后基于中芯国际65nm标准CMOS工艺进行版图设计和流片测试。流片之后,主要对电路进行可靠性和功能实现两个主要方面进行测试,其中可靠性测试包括温度周期(Temperature Cycling)测试、高温存储(High TemperatureStorage)测试以及高加速下应力(Highly Accelerated Stress Test)测试三方面。测试结果表明,本文所研制的熔丝电路的功能达到设计目标。
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