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由于低密度C/C复合材料内部存在大量微孔,因此具有较好的高温绝热性能,被广泛应用在金属热处理炉、单晶生长炉及多晶硅提纯炉等高温工业设备中,但上述设备通常采用惰性气体冷却,固体颗粒夹在气体中形成高速粒子流,对炉衬材料进行冲蚀磨损,导致隔热材料的流失。为确保低密度C/C复合材料在固体粒子冲蚀环境下长期使用,必须阻止高速粒子流直接冲蚀材料表面,其中最直接的防护措施是在表面通过涂层技术制备综合性能较好的抗冲蚀性涂层,以牺牲表面涂层来提高材料的抗冲蚀性能。针对低密度C/C复合材料抗冲蚀性差的问题,首先利用涂覆法在基体表面制备了石墨涂层、碳基涂层及SiC涂层,然后利用硅蒸镀法在石墨涂层和碳基涂层的表面制备了SiC涂层,最后研究了制备工艺参数对基体表面所制备的涂层相组成及微观结构的影响,并分析了低密度C/C复合材料及表面涂层的抗冲蚀性,得到结论如下：(1)在基体材料表面所制备的碳纸涂层完整地覆盖了基体,且涂层表面比较致密,但在蒸镀SiC涂层后,涂层表面出现少量的裂纹及“起皮”现象,且分层现象加重；所制备的碳布涂层在碳纤维束交叉重叠处存在方形微孔,碳纤维束表面存在平行于碳纤维束、尺寸较大的裂纹,但在蒸镀SiC涂层后,涂层表面形成了垂直于裂纹扩展及碳纤维束轴线方向的“堤坝型SiC涂层带”。(2)利用涂覆法在低密度C/C复合材料表面制备了石墨涂层,然后通过蒸镀法制备SiC,在基体表面形成了连续、致密的SiC涂层,且随着蒸镀时间的增加,涂层的厚度和显微硬度逐渐增大；当蒸镀温度为1550℃,蒸镀时间为3h,涂层表面仅存在β-SiC。(3)随着石墨涂层中石墨粉粒度的降低, SiC涂层的平整度及致密度增加；而采用氩气保护,硅块作为硅蒸发源时,所形成SiC涂层的表面平整度和致密度也增加。(4)随着冲蚀角及冲蚀气体压强的增加,低密度C/C复合材料的冲蚀率逐渐增大；随着树脂含量的增加,其固体粒子冲蚀率先增大后减小；当冲蚀角为60°、75°、90°时,被固体粒子冲蚀后的基体材料表面均存在碳纤维束。(5)随着冲蚀粒子损耗量的增加,未蒸镀及蒸镀SiC后的碳纸涂层、碳布涂层及石墨涂层的冲蚀率均减小,上述涂层中蒸镀SiC的碳布涂层的冲蚀率最小,抗冲蚀性能最佳,而蒸镀SiC的碳纸涂层在固体粒子冲蚀后,涂层表面出现凹坑及凸起的“唇片”。(6)在石墨涂层表面蒸镀SiC时,所制备涂层具有最佳抗冲蚀性的实验工艺参数为：蒸镀温度为1550℃,蒸镀时间为3h。