【摘 要】
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论文中研究应用移相干涉术测量新的1等量块的方法.对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助钢平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶
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论文中研究应用移相干涉术测量新的1等量块的方法.对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助钢平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到一幅表征它们的离散波差值,再把离散波差值拟合为连续、光滑曲面表示的波差值数据,计算量块测量面上任意点的干涉条纹小数部分,并经量块温度和环境参数自动修正后,从而得到被测量量块的测量结果.
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