【摘 要】
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紫外光电系统的迅速发展要求对其光学系统的成像质量做出准确的评价。本课题采用数字傅里叶分析法,开展紫外波段(260nm-400nm)光学传递函数测量技术的研究。首先,结合光学传
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紫外光电系统的迅速发展要求对其光学系统的成像质量做出准确的评价。本课题采用数字傅里叶分析法,开展紫外波段(260nm-400nm)光学传递函数测量技术的研究。首先,结合光学传递函数测量理论,采用数字傅里叶分析法组建了原理实验的测量装置。用Labview开发了MTF的测量与仿真软件,分析了软件的核心算法——傅里叶变换。并对离散傅里叶变换可能引入的频率混叠与栏栅效应进行了分析。其次,分析了紫外微弱信号的检测技术。通过增强目标辐射强度、对信号源进行调制以及锁相放大、选择高灵敏度的探测器等措施,解决了紫外微弱信号检测的问题。采用Labview进行了仿真,达到了理想的应用效果。然后,针对被测透镜,分别进行了几组最佳焦面测量以及离焦测量,给出了测量结果。提出了三种不同的LSF数据处理方法,通过比较,说明其适用的场合。分析了FWHM (Full Width at Half Maximum)的研究方法,指出了传统计算方法的不足,提出的线性插值法可以得到更高的测量精度。最后,分析了辅助光学系统、狭缝宽度以及探测器等测试组件对测试结果的影响,提出了修正方法。对结果的测量不确定度进行了综合评估,其扩展不确定度为U轴上=0.03,U轴外=0.05。
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