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微型电子机械系统(MEMS)作为20世纪末新型科学技术,发展十分迅速。MEMS基体的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的稳定性和寿命起着决定性作用。自组装薄膜(SAMs)具有制备工艺简单、减摩抗磨性能优异等特点。本项研究工作采用自组装技术,在二氧化硅和单晶硅片表面生成致密有序的3-巯丙基三甲氧基硅烷自组装膜(MPTS SAM),并在其表面巯基官能团(-SH)氧化为磺酸基官能团(-SO3H)后,在-SO3H上自组装镧基稀土纳米薄膜。利用稀土元素与非金属元素的强亲和力在基片表面与薄膜间产生化学