【摘 要】
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真空计量器具广泛应用于工业加工和科学实验领域,其种类繁多,样式各异。由于使用中的真空计大多数都是间接测量真空度的,因此需要对这些真空计进行校准,以检定其是否能准确显示。
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真空计量器具广泛应用于工业加工和科学实验领域,其种类繁多,样式各异。由于使用中的真空计大多数都是间接测量真空度的,因此需要对这些真空计进行校准,以检定其是否能准确显示。安徽省真空计量站的建立不仅可以满足学校自身科学研究的需求,还可以为邻近的华东、华中真空相关企业提供良好的服务平台。本文主要介绍安徽省真空计量站建设的前期准备工作,内容包括计量站仪器更新、系统搭建、系统预抽、系统检漏、真空室烘烤等。通过电容薄膜规比对实验、副标准真空计比对实验和静态膨胀法实验,在104~10-4Pa范围内对待校准真空计进行了宽量程校准,从而从硬件构建和软件调试两方面保证系统具备真空校准检定能力。真空传感器都有测量上、下限,而实际应用中可能需要从大气压一直测到高真空,因此,宽量程真空计一直是研究开发的热点。本文研制了一种采用热偶规和电离规复合形式的宽量程真空计,低真空、高真空信号分别由热偶规、电离规采集,真空规及其量程切换由电控处理系统自动完成,可测真空范围为105~10-5Pa。电控处理系统由飞思卡尔MC9S12系列16位单片机MC9S12DG128为主干搭建。真空规输出的微小采样信号经放大电路和A/D转换后输入单片机,通过数据的分析判断,电控系统自动切换传感器、量程,并将数据转换成显示码,在LED数码管或LCD液晶显示板上显示。论文最后对真空计的发展趋势做了一定的展望。
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