随着金融深化与科技创新活动之间的互动越来越频繁,两者的高度耦合便形成了科技金融范畴。如果可以借助科技金融的优势促进我国技术进步,这无疑为提升我国全要素生产率与经济增长质量开辟新的有效途径。全要素生产率的提高不仅是科技进步与生产水平提升的具体表现,也是判断一国经济由粗放型发展模式向集约型发展模式转变的重要依据。因此,研究科技金融对我国全要素生产率的作用机制与异质性影响具有重大的理论意义与实践价值。本文在对国内外相关文献进行梳理与总结的基础上,首先从理论上对科技金融影响全要素生产率的技术进步路径与技术效率路径进行分析与解读。其次,在理论分析的基础上,运用我国大陆30个省级区域面板数据,构建科技金融评价指标体系以全面衡量各地区科技金融发展水平。最后,基于多种空间权重矩阵并运用空间计量方法,实证考察科技金融发展对我国全要素生产率的作用途径以及异质性影响。研究发现:第一,东部地区科技金融发展程度最高,中部位列其次,西部最低。即我国科技金融发展处于不平衡状态,各区域的科技金融发展水平拥有一定程度的差距。第二,我国全要素生产率具有明显的空间自相关特征。这可以说明,各个地区的生产活动并不是相对独立的,而是具有空间关联性与依赖性。第三,在全国范围内,科技金融发展能够显著促进我国规模以上工业企业全要素生产率的提高,且这种影响主要是通过技术效率路径发挥促进作用,通过技术进步途径产生的影响并不显著。第四,在东部与中部地区,科技金融发展均能够促进地区规模以上工业企业全要素生产率的提高。在西部地区科技金融发展虽然对区域全要素生产率产生正向作用,但结果并不显著。而对外开放与R&D资本存量对全要素生产率的提高产生显著的抑制作用。在理论分析与实证研究的基础上,本文提出相关对策建议。