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精密定位驱动技术是实现精密制造和精确测量的重要途径,在航空航天、武器系统、微机械制造、集成电路、超精密加工、半导体技术、微电子封装(SMT)、生命与医疗科学等领域具有广泛的应用需求。精密定位驱动技术的实现依赖于智能驱动材料与弹性支撑结构的集成设计,而压电智能材料所固有的迟滞非线性己成为限制定位精度提高的瓶颈,并且在特殊情况下会引起系统震荡,造成系统位移输出不稳定。因此,需要从驱动器弹性结构设计方面探索和研究消除迟滞影响的新途径。本论文主要展开了以下研究工作：(1)针对传统压电驱动器驱动位移小、能耗高