本文在分析磁控溅射工艺背景的基础上,确定了倍流整流方式ZVS PWM直流变换器作为其靶极电源的核心,该变换器利用变压器副边滤波电感能量,可在较宽负载范围内实现主开关器件的零电压开关。由于漏感小,无占空比丢失,同时,输出整流二极管在零电压条件下实现换流,不存在反向恢复问题,故没有电压尖峰。此外,还详细分析了该变换器的工作原理,给出了参数选择的具体方法。靶极电源控制部分采用了峰值电流控制模式与移相软开关技术相结合的方案,阐述了峰值电流控制的特点,给出实际斜坡补偿电路及其设计方法。论文通过不同输出功率的主电路仿真结果验证了该方案的可行性。此外,还引入了倍流整流方式ZVS PWM三电平直流变换器(半桥),使逆变桥主开关管上电压减少到一半,并改善了输出滤波器的工作条件。论文详细分析该变换器的工作原理,给出参数选择的具体方法,仿真结果验证了该方案的可行性。