激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究

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随着我国整体经济能力与自主创新能力的增强,纳米材料、集成电路、超精加工、MEMS(微机电系统)等快速发展的高新技术产业都涉及到纳米技术,迫切需要通过纳米计量来实现纳米尺度的标准和量值溯源。课题组研制的大范围纳米几何结构计量基准装置(又称纳米测量机)将作为我国大范围纳米量值传递体系的溯源基准,保证我国纳米量值的统一。本论文主要内容是为大范围纳米几何结构计量基准装置,设计并实现测量控制系统,分为激光干涉仪信号处理系统与纳米测量控制系统。概括全文的主要内容和成果,有如下几个方面:1.分析大
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