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基于磁控溅射AlN和石墨烯过渡层的GaN生长研究

来源 :西安电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shmilyfanwen

【摘 要】

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【作 者】

：

陈智斌 

【出 处】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

金属有机物化学气相淀积 磁控溅射AlN AlN插入层 层错 位错 石墨烯 范德华外延 

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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