随着氢气在人们日常生活中的普遍应用,对于氢气传感器的研制就显得尤为重要。传统的基于金属氧化物半导体的电阻型氢气传感器的研究有很多,其发展也十分迅速,具有结构简单、体积小和成本低廉等优点。但同时也存在一定的局限,比如体电阻过大、灵敏度较低以及选择性差等。本文以WO₃为基础材料,通过引入多壁碳纳米管（MWCNTs）,利用其优良的导电性能来降低材料的体电阻,进而提高材料的灵敏度。由于Pd对氢气具有较强的吸附性,所以在敏感材料中掺入Pd以增强其对氢气的选择性。本文采用溶胶凝胶法对Pd-WO₃/MWCNTs复合材料进行制备。采用了两次涂膜的方式,首先对WO₃/MWCNTs薄膜进行制备,然后将Pd掺杂的WO₃薄膜制作在其上方,这样可以将碳纳米管完全覆盖在薄膜下方,避免了其与水汽的接触,可以使其充分的进行电荷传输,进而降低材料的体电阻。分别对WO₃薄膜、Pd掺杂的WO₃薄膜和Pd-WO₃/MWCNTs复合材料的初始电流值进行了测量,发现掺入MWCNTs后初始电阻值有了大幅度的降低。通过对Pd-WO₃/MWCNTs气敏性能的测试,得出在其最佳工作温度为250℃,相比于未掺杂MWCNTs时工作温度有所降低。在此温度下测量Pd-WO₃/MWCNTs复合材料对1200ppm的氢气的灵敏度可以达到221.6。而且掺入Pd后对氢气的选择性很好,对其他还原性气体的灵敏度都很低。