择优取向PLZST薄膜的微观结构及电热效应研究

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铁电材料在绝热条件下去极化其温度降低,称为电热效应(ECE)。利用铁电材料的电热效应制成的制冷器具有结构简单无机械运动部件、控制灵活、能量转换率高、成本低、环境友好等优点,与传统制冷相比,在小体系和小负荷的制冷场合(MEMS系统)进行局部制冷,具有独特的优势。本文采用溶胶-凝胶法结合快速热处理技术(RTA)在Pt、PbO、LaNiO_3(LNO)上分别制备了择优取向Pb_(0.97)La_(0.02)Zr_(0.82)Sn_(0.15)Ti_(0.03)O_3反铁电薄膜(简记为PLZST
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