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基于氮化铝薄膜的高频、高性能压电声波谐振器的设计与制备研究

来源 :上海师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kim_xt

【作 者】

：

刘会灵 

【出 处】

：

上海师范大学

【发表日期】

：

2022年01期

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