该文的目标是通过向溶胶中加入有机粘合剂的方法,实现在普通载玻片上通过单次旋涂制备厚膜而得到光波导.一个具备几个微米厚度的传输薄膜是制备光波导的基础,然而用旋涂法单次制备出200nm以上的薄膜是很困难的.为了尝试通过单次旋涂制备厚膜,甲基纤维素被当作有机粘合剂加入SiO<,2>溶胶,为了防止开裂我们加入了聚乙二醇做化学控制干燥剂,最终通过单次旋涂得到了900nm厚的SiO<,2>/MC/PEG膜.为改善膜的质量、提高材料性能,对样品进行了退火.高温退火可能是提高产品质量的一种有效途径,然而退火所需的高温也可能同时会对产品有不利影响比如开裂、翘曲、变形、晶相变化、原子扩散以及其它不良后果.为了研究低温退火,准分子激发态紫外光辐照技术被用来进行辅助退火:在0.2 bar O<,2>气氛和222nm紫外光条件下对样品从室温到300度进行处理.对不同条件下处理的样品用扫描电镜(SEM),热重分析(TGA),傅立叶转换红外光谱(FTIR),紫外-可见光谱(UV-VIS),X射线光电子能谱(XPS)表征,发现红外光谱中约2900cm<-1>处对应-CH<,2>-的吸收峰在较低温度下消失,表明紫外光产生的活性氧可提高退火效果,展现了这种退火技术在光、电材料科学中的应用前景.改进了制备工艺以后,通过单次旋涂得到SiO<,2>/TiO<,2>/Methylcellulose复合薄膜.样品在70度下干燥一小时后,成为2.5微米厚、无裂而致密的有机无机复合薄膜,这种薄膜材料的折射率可达到1.537.它和普通载玻片组成的光波导对650nm的光损耗约为0.3dB/cm.为了进一步研究这个新材料,样品在不同温度下退火直至800度并进行表征,800度可获得纯粹无定型的SiO<,2>/TiO<,2>.在旋涂工作中,这种方法的固有缺陷影响了膜的质量,其中辐射状条纹缺陷成因最复杂也最难解决,在分析了各种缺陷的起因之后,一些解决方案被提出并且进行了讨论.