柔性电路板,作为最重要的电子元器件或IC芯片的基板,凭借其高精密与高可靠的优越性能得到越来越广泛的应用。随着电子元器件尺寸的减小,柔性电路板线路布局越来越密集化,保证产品的质量也变得更加重要。因此对柔性电路板制造过程实施监控显得尤为重要。柔性电路板的高精密性主要体现在其线路布局的高密度化上,而蚀刻过程为柔性电路板精密线路布局的关键工序之一。本文以柔性电路板制造过程的蚀刻工序为例,研究时变以及多模态特征这两类统计过程监控方法及其应用。该研究对于操作人员实时了解过程运行状态,及时发现制造过程中的异常,保证产品质量具有重要作用。本文主要研究内容如下:(1)分析柔性电路板制造过程蚀刻工序的参数特点,得出蚀刻工序过程具有时变以及多模态特性的结论,根据蚀刻工序这两类特点展开多变量统计过程监控方法的研究;(2)针对柔性电路板制造过程蚀刻工序过程参数的时变特性,提出了一种基于距离条件的自适应支持向量描述模型快速更新策略,将该策略和递归核主元分析算法结合,实现对时变过程的快速、高效监控;(3)针对柔性电路板制造过程蚀刻工序过程参数的多模态特性,结合过程数据时间尺度以及空间尺度上的信息,提出一种多模型监控方法。该监控方法将过程数据时间尺度上的信息与峰值聚类方法结合,对训练数据进行模态划分;对于新数据,利用数据空间尺度上的局部特征信息,进行模态匹配,实现对多模态过程的监控.(4)对前面相关章节提出的监控方法进行集成,针对蚀刻工序的时变以及多模态特性设计一套监控方案,并结合工业需求设计柔性电路板蚀刻工序监控系统。