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大口径平面光学元件在空间光学、航空航天、激光聚变等诸多高技术领域的需求数量越来越多,大口径平面光学元件的超精密加工技术已成为当代科技前沿的关键支撑技术之一。本文针对大口径平面光学元件的高效、高精抛光需求,对大口径平面光学元件快速抛光机进行了研制。快速抛光技术正处于发展之中,属于新型抛光技术之一,该项技术的成熟发展,将为高档光学、精密机械提供一种新的高效、高精度、低成本的数字化加工技术手段。本文在分析光学玻璃的抛光机理、抛光工艺关键因素以及聚氨酯抛光特点的基础上,建立了平面元件的抛光模型;分析了光学薄