从微观角度出发,探讨粒子或团簇与表面的相互作用及沉积过程是该文的主要目的.作者们希通过了解粒子与表面的相互作用的微观过程,在原子尺度上更真实地理解薄膜生长的初期阶段的微观该质.该文第一章中,作者们简要地总结了子与表面相互作用的主要方法和一些重要研究结果.在第二章中,作者们对分子动力学方法的基本思想、实施步骤及其发展作了简要的介绍.在第三章中,主要介绍了目前人们常用的几种原子相互作用势的形式及各自的优缺点.Hyper-MD方法是最近发展起来的一种新方法,它可以显著地延长分子动力学模拟的时间尺度直到微秒甚至更长.该文首先将这种方法应用于空位在块体及表面上的扩散,得到了与现有的理论及实验值符合得很好的扩散系数.通过仔细比较空位在表面上的扩散路径,作者们发现,在室温下,空位只在表面的最外层进行扩散;而在高温下,空们的其它近邻原子也开始参与扩散(见第四章).在第五章中,作者们采用动力学方法模拟了粒子在金属表面上的俘获过程,研究了俘获概率与入射角的关系,表面结构因子和溅射产额(sputtering yield)随入射能量的变化.团簇在表面上的沉积是一个非常复杂的过程.不同尺寸、带有不同能量的团簇沉积到表面上可以生成不同质量的薄膜.为了解这些因素如何影响团簇在表面上的形貌,作者们系统地了小的铜团簇在Cu(100)表面的沉积,讨论了团簇的能量、方位和衬底温度对团簇在表面上的最终形貌的影响.