高密度柔性集成电路基板(Flexible Integrated Circuit Substrate,FICS)是一种为电子元器件提供线路载体的高度密柔性电路板。随着电子产业的蓬勃发展,FICS也向体积小,线路密集的方向发展,其线宽、线距等线路几何尺寸已达到微米级别。但人工目检的缺陷检测方法无法对线路密集的高密度FICS线路几何尺寸进行测量,因此采用高精密的自动光学检测(AOI)系统来测量线路几何尺寸进而检测线路几何缺陷是目前的迫切需求。本文基于高密度柔性基板的线路几何缺陷检测问题,对检测算法中的轮廓提取,直线曲线检测技术进行了研究,文章主要工作如下:(1)提出了一种基于灰度直方图的迭代阈值分割方法。该方法根据FICS图像的灰度直方图形状特点,通过将直方图分为三类进行多次Oust阈值分割迭代得到满足精度的合适阈值,最后使用该阈值可以快速精准地分割出FICS线路和背景。(2)提出了一种基于多特征融合和智能路径探索的轮廓检测算法。通过图像的亮度特征选取锚点,然后根据轮廓处于不同的线路情况下通过结合局部多尺度特征进行智能启发式轮廓探索来连接这些锚点,最后得到完整的高质量轮廓。(3)设计了一种基于轮廓提取与有效性判定的快速直线、曲线检测算法及其对应的线路几何缺陷检测算法。首先采用本文提出的基于多特征融合和智能路径探索的轮廓检测算法提取线路的轮廓,接着对直线进行定位和标准线宽线距测量,然后基于轮廓对直线曲线进行检测,最后对剩余轮廓进行计算分析,检测出对应的线路几何缺陷。