AZO（掺铝氧化锌,Al-ZnO）靶材质量是影响溅射法制备薄膜的关键因素之一。AZO靶材主要制备工艺有常压烧结、热等静压烧结及真空烧结等。热等静压烧结、真空烧结两种工艺制备出的靶材性能较好,但靶材形状及尺寸受限且工艺复杂、生产成本高、效率低。采用溶胶-凝胶工艺有利于得到成分均匀、颗粒形态和粒径等可控的掺铝氧化锌复合粉体,并可采用无机盐作为原料以降低成本,因此有较高的推广应用价值。本文采用溶胶-凝胶法合成了掺铝氧化锌复合粉体,用常压烧结制备出电阻率较低、致密度较高的AZO靶材。研究了络合剂种类及用量、反应温度、pH值、干燥温度等因素对粉体形态及靶材性能的影响,分析了球磨及烧结制度对靶材微观组织的作用,与固相反应法制备的靶材进行了对比。结果表明,控制溶胶-凝胶的制备工艺参数可以得到烧结性能良好的粉体,湿法球磨能减少粉体团聚,提高靶材密度;随成型压力提高靶材致密度先升后降,电阻率变化则相反;增加烧结保温时间,晶粒尺寸变大,致密度提高缓慢,电阻率变化较小;采用2MPa成型压力,在1250℃烧结1h,可以得到致密度达99.2 %,电阻率约2×10^-2Ω·cm的靶材。