ZrN比TiN具有更好的耐磨性、抗腐蚀性,更优的力学性质,良好的化学和热学性能以及漂亮的金黄色和较高的硬度和熔点,已经在表面防腐、表面装饰以及各种工模具的表面强化及提高材料性能等方面得到了广泛的应用。但关于涂层制备参量的防腐蚀因素研究相对较少,此问题的解决无疑是推进这一涂层向应用领域推广的重要因素。本文利用极化曲线和腐蚀电位测量技术,研究了工作气压、氮气流量、基体偏压和沉积温度对涂层防腐性能的影响,并根据装饰镀层的要求,用正交实验法找出了防腐性能最佳的制备参数。研究得到:涂层的防腐性能因制备参量对涂层缺陷、孔隙密度和膜基附着力产生作用而受到影响,单参量因素实验发现它们的值分别为0.3 Pa、5 sccm、-100 V和300℃时,涂层防腐性能最好;正交实验中发现,制备参数分别为0.2 Pa、12 sccm、-100 V和300℃时,涂层防腐性能最佳。基于装饰镀层考虑,用单参量因素实验研究了制备参量对涂层的沉积速率和颜色的影响,发现制备参量对沉积离子的浓度、种类及晶体生长有影响,当它们的参数分别为0.3 Pa、5 sccm、-100 V和400℃时,涂层沉积速率最高;氮气流量对涂层颜色影响很大,在5 sccm～20 sccm范围内,涂层颜色分别为淡黄色、铜黄色、金黄色、橘黄色和棕红色,12 sccm时,涂层呈金黄色。