【摘 要】
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随着MEMS技术的迅速发展,微电铸技术得到了广泛的应用,已经成功地应用于微模具和微结构的制作。而在微电铸工艺过程中电铸层会产生较大的内应力,它对电铸层的机械性能和零件成形有着很大的影响;同时,微模具型芯的制作及其尺寸精度也一直是影响微流控芯片制作的难题之一。本课题主要集中在微电铸结构中的内应力和微模具型芯的制作及其尺寸精度两个方面,研究结果有利于提高电铸结构的使用稳定性和微模具的尺寸精度。对铸层内
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随着MEMS技术的迅速发展,微电铸技术得到了广泛的应用,已经成功地应用于微模具和微结构的制作。而在微电铸工艺过程中电铸层会产生较大的内应力,它对电铸层的机械性能和零件成形有着很大的影响;同时,微模具型芯的制作及其尺寸精度也一直是影响微流控芯片制作的难题之一。本课题主要集中在微电铸结构中的内应力和微模具型芯的制作及其尺寸精度两个方面,研究结果有利于提高电铸结构的使用稳定性和微模具的尺寸精度。对铸层内应力的测量方法进行了研究。以布拉格定律和弹性理论为基础,导出sin~2Ψ法内应力计算公式。利
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近年来,高密度印制板成为印刷电路板行业的发展趋势,印制板层间电气通过盲孔和通孔连接,而电镀通孔就成为印刷电路板制造中的主要工艺。随着印制板的尺寸越来越小,用于连接层间线路的通孔变得越来越小,深径比越来越大。电镀铜在具有高深径比的通孔内均匀沉积为印刷电路板铜互连线制造技术中必须解决的一个关键问题。目前,国内尚无解决对高深径比的通孔均匀沉积铜的核心技术。本文采用双向脉冲电镀技术对直径为250μm和30
顶部籽晶熔渗法(TSIG)是制备YBCO高温超导块材的重要技术之一。它克服了传统熔化工艺所制备的块材易于变形的缺点。该方法结合了籽晶诱导晶体生长技术和渗透生长技术。在用TSIG法制备样品的过程中,当初始坯料被加热至包晶反应温度以上时,液相源坯料中的Ba-Cu-O液相就会渗入到Y_2BaCuO_5(Y211)坯料中,在慢降温的过程中Ba-Cu-O液相与Y211固相反应形成YBa_2Cu_3O_(7-
随着人们环保意识的增强和电动车等大型设备的发展,迫切需求高容量、高功率锂离子电池的快速发展,在其金属和炭材料复合材料负极材料的开发中以锡或锡氧化物/C复合材料研究的最多。非石墨化碳作为锡或锡的氧化物的基体来制备新型负极材料与锡或锡氧化物/石墨化碳复合材料相比,非石墨化碳一般空隙率比较高,锡或锡氧化物能够进入到空隙中,但由于非石墨化碳的导电性比石墨要低,影响到整个电池的容量,从而限制了其大电流充放电
本实验研究了一类以辣根过氧化物酶(HRP),葡萄糖氧化酶(GOx)分别为阴极和阳极催化剂的Glucose/H_2O_2酶生物燃料电池。制备了考马斯亮蓝和多壁碳纳米管混合物修饰玻碳电极(CBB G-250/MWNT/GC),考察了固定在该修饰电极上的辣根过氧化物酶和葡萄糖氧化酶的电子转移情况。结果表明,辣根过氧化物酶和葡萄糖氧化酶在该电极上实现了稳定的直接电子转移反应,循环伏安图上出现了一对对称性良
无刷直流电动机利用电子换相器代替了直流电动机的机械电刷和换向器，不但具有直流电机的调速性能，而且体积小、效率高，在许多领域已得到了广泛应用。采用无位置传感器控制技术，不但可以克服有位置传感器的诸多弊端，而且还进一步拓展了无刷直流电动机的应用领域。近些年来，无位置传感器无刷直流电动机控制技术成为大家研究的热点之一。本课题紧扣研究热点，以方波无刷直流电动机为控制对象，设计了一套无位置传感器无刷直流电动
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伺服加载系统是仿真实验的重要设备,能够真实地反映出产品的实际性能。其本质上是一种被动式力矩伺服系统。本文为飞行器舵机设计了一套舵机伺服加载系统,其功能是在实验室条件下复现飞行器的舵面在空中所受的载荷,从而检测飞行器舵机系统的性能指标。主要完成了以下研究工作:首先,本文对加载系统进行了全面深入的调查研究,重点分析了电动加载系统工作原理。为了消除多余力的影响,并结合本伺服加载系统的需要,完成了用弹簧片
嵌入式直流电机测控系统旨在以稳定性高、速度快的方式驱动直流电机精确定位,增强地面炮弹密集度自动测试系统中直流电机的驱动能力,提高系统工作性能。直流电机驱动模块是测控系统重要组成部分,对直流电机运转位置和运转速度的控制,直接影响了测控系统的工作性能。因此,如何保证直流电机控制运转的稳定性和定位的准确性,是改善测控系统工作性能的一个重要课题。基于工控机的地面炮弹密集度自动测试系统用于测试密集度.由于测