大口径光栅拼接装置的结构分析及运动精度研究

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当今,在天文观测、约束性激光核聚变等科研国防的尖端领域,大口径衍射光栅得到了广泛的应用。研究如何获得大口径衍射光栅现已成为包括中国在内的各国光栅学者的重要课题方向。利用拼接法制取大口径衍射光栅有其明显的优势,其技术关键在于如何保证拼接光栅的位置精度及调整精度,这对所设计的拼接装置提出了非常高的运动精度和机构稳定性要求。本文基于光栅拼接装置的技术难点对高精度大口径光栅拼接装置进行设计及深入研究。首先,设计应用于三块光栅拼接的拼接机构及拼接后大光栅整体的四自由度位姿调整机构,这两部分构成高精度大
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