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透明导电薄膜因其具有低电阻率和在可见光范围内较高的透光率等优异性能,可应用于许多光电器件,比如液晶显示、太阳能电池、热镜和表面声波器件等领域获。现阶段应用的较多的是氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,但是ITO薄膜由于其成本较高和对环境的污染以及对人体的危害,限制了它的发展。ZnO是一种直接带隙半导体材料,在光电器件领域具有较大的应用前景,且ZnO的成本相对较低,对环境友好,基本不存在危害。因此,ZnO透明导电薄膜的研究发展备受关注。目前,ZnO的研究领域主要集中在ZnO:Al,对于ZnO/me