氧化物半导体纳米结构物性与器件研究

来源 :中国科学院物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yaraksuper
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
材料尺度减小到纳米量级后,其表面和界面效应等越加显著,如比表面积大使得气体吸附对很多纳米材料的电导影响很大,晶粒间的接触势垒对电子输运影响很大等,诸多特性使得利用这些新材料体系构建功能器件成为可能。本文研究了几种氧化物半导体纳米结构在气体传感、光探测、电流变液和场发射等方面的应用,并构建了相应的器件。主要研究内容及结果如下:   ⑴研究表明基于氧化物多晶微米颗粒或纳米线的乙醇传感器难以同时实现高灵敏度和低电阻,为此我们用花状ZnO纳米结构构建了乙醇传感器,探测100ppm乙醇时灵敏度约14.6,工作电阻约100 KΩ。花状结构由ZnO棒组成,每根棒一端朝外另一端与其它棒结合在一起,平均直径约150 nm远大于表面耗尽层厚度。表面耗尽层对ZnO棒的电导影响不大,而对棒与棒之间的接触势垒影响很大,灵敏度与晶界势垒成指数关系,因此传感器灵敏度高,电阻低。   ⑵为进一步提高灵敏度我们用块状In2O3纳米晶构建了乙醇传感器。块状纳米晶构成的敏感膜中晶粒间的主要接触方式为晶面-晶面接触,接触面大,随乙醇浓度的增加,乙醇分子与氧负离子的反应区域从接触面边缘往内扩大,晶界势垒受乙醇浓度调节范围宽,因此传感器灵敏度极高,探测1 ppm乙醇时灵敏度为10,探测100 ppm乙醇时灵敏度高达200,响应时间约2 s,恢复时间约4 s,工作电阻为1.50-300 KΩ。该研究为开发高性能气体传感器指引了一条可行路径。    ⑶快速响应气体传感器广泛应用于实时监测等领域,研究发现因浅施主能级使得电子驰豫时间过长,基于电导较大的氧化物纳米线的氧传感器响应速度极慢。为实现快速响应我们提出了光诱导氧传感机制:用光照在低电导纳米线(浅施主少)中激发产生大量载流子,氧气对载流子浓度进一步进行调节,从而实现光诱导氧传感:并用β-Ga2O3和ZnGa2O4纳米线构建传感器进行了验证。紫外光照下流经纳米线的电流迅速增加到能反映环境氧压大小的稳定值,器件的恢复时间远小于1 s,氧压高时响应时间小于1 s,氧压较低时响应时间约为2 s,紫外光关闭后器件对氧气不敏感,氧传感由光生载流子引起。该研究展示了一种开发快速响应气体传感器的新方法。   ⑷宽带隙低电导纳米线因浅施主少,光生载流子的驰豫过程短,可用于光探测,因此笔者构建了基于单根β-Ga2O3纳米线的日盲紫外探测器,无紫外光照时通过纳米线的电流为pA量级,紫外光照使得通过纳米线的电流增加三个数量级,器件工作重复性好,其响应时间和恢复时间分别小于0.22和0.09 s。与薄膜相比制备单晶β-Ga2O3纳米线不需要外延衬底成本低,器件构建工艺对光敏元件损伤小。该研究为制备吸收光效率高的纳米线阵列光探测器奠定了基础。   ⑸沿c轴生长的纤锌矿结构ZnO纳米线极性很强,如分散于绝缘液体中,电场的作用将使纳米线在该电流变液体系中沿电场方向排列,有利于形成使得体系粘度增强的链状结构。但将ZnO纳米线分散于硅油中笔者发现该体系表现出反常电流变行为,不加电场时体系的表观粘度约为4.3 Pa·s,随着电场的增加表观粘度减小,电场为4 kV/mm时表观粘度下降到初始值的1/4。这种反常电流变现象的起因是外电场使得极性纳米线往两个电极板附近聚集,电极板中间区域纳米线减少,整个体系的粘滞性减弱。   ⑹场发射在真空电子学领域具有广泛的应用前景,但研究发现基于纳米材料的场发射阴极当电流密度较大时因局域热效应等经常出现稳定性差的问题,为降低局域热效应本文构建了三角状ZnO纳米片阵列场发射阴极,其场发射稳定性好,发射体-阳极间距为325μm时,场增强因子为1389,宏观开启场强为3.6V/μm,宏观阈值场强为5.0 V/μm,电流密度为~1.46 mA/cm2时的波动小于1.5%。三角片状发射体电阻相对较小,热效应低,散热面积大,热传导能力强,这些因素使得局域热效应低,场发射稳定性好。
其他文献
近年来,基于核磁共振(NMR)波谱的代谢组学(metabonomics)方法作为一种强有力的工具,被广泛地应用于基础生物学、分子病理学、毒理学、生物医药、环境科学等研究中。动物胚胎中
针对文化创意产业迅速发展、经济产值的不断提升,急需高校艺术设计专业创新人才培养方案,尽快培养出一大批具有创新能力的艺术设计师的背景下,从师资队伍建设、教学模式改进
传统中医面诊是医生通过在自然光环境下,观察病人面色作出诊断的方法。但由于室内自然光易受天气条件的影响,难以得到一个“标准”的光环境,造成了影像记录与交换的困难。本文旨
光纤激光器以其高功率、高效率、高质量、结构紧凑、稳定可靠等优点,在光通讯、光传感器、先进制造、激光武器和激光聚变驱动器等方面得到广泛应用,已成为当前激光技术的一个重
近年来,在UGe2等化合物中铁磁与超导共存现象的发现,大大吸引了人们注意。对此人们做了大量的工作。其中Suhl,Abriclsov提出了局域磁矩与Cooper电子对的交换机制。在这一理论里,
本论文的主要内容包括两个方面:首先,利用相对论平均场(RMF)理论,系统研究了7000多个质子数和中子数都大于8的包括600多个超重核在内的原子核的基态性质;其次,发展了基于双中心谐
本文在非相对论势模型的框架内研究了轻标量介子σ,κ,a0(980),f0(980)的四夸克态解释。应用变分法,四夸克态的波函数被展成多个高斯波函数的叠加。如果在模型中引入一项三体相互
利用分子束外延(MBE)技术,在不同条件下生长了高K Er203薄膜。利用反射高能电子衍射(RHEED)、高分辨X射线衍射(HRXRD)、X射线反射率(XRR)和原子力显微镜(AFM)技术,研究了Er203
学位
近些年来随着LED光源性能的提高和成本的不断下降,它的竞争力也不断提高,专家预计LED将成为继白炽灯、荧光灯之后的第三代照明光源。   在诸多利用半导体发光技术实现白光的
学位