随着太赫兹波源与探测器技术的成熟,太赫兹波段的技术应用正在飞速发展。太赫兹波功能器件的研究对于推动太赫兹波段技术应用有积极意义。金属表面等离子激元可以在与入射波波矢平行的方向上突破电磁波衍射极限,将太赫兹波束缚在亚波长尺寸上传播,或者产生透射增强效应,使特定频率范围内的太赫兹波透过亚波长周期阵列结构,利用太赫兹表面等离子激元的波导效应与增强透射效应,可以促进太赫兹波段功能器件的研究与发展。根据表面等离子振荡的连续性差异,表面等离子激元可以分为传播性的表面等离子激元和局域性的表面等离子激元两种。二者各自具有不同的性质。本文基于对于两种表面等离子激元不同特性的研究,设计并研究了若干太赫兹波段功能器件,并通过实验验证了数值仿真分析的结果：(1)理论分析了金属膜上刻蚀有亚波长空气环阵列的“金属-介质-金属”结构的透射特性,对透射谱中两个窄带谐振峰的耦合模式进行了深入分析,利用局域性表面等离子体特性设计了窄带滤波器,利用传播性表面等离子体特性设计了窄带偏振器。通过优化仿真参数,确定了优设计方案,并结合现有测试设备制作了样品,测试得到的窄带滤波效应和偏振特性与仿真结果一致。(2)基于对“金属-介质-金属”透射特性的分析,计了七层太赫兹调制器方案,利用传播性表面等离子体耦合与金属外侧介质介电常数相关的特性,通过改变外侧介质介电常数实现了对窄带谐振峰中心频率的调制。试制了实验样品,通过实验初步验证了该方案的可行性。(3)基于表面刻蚀有亚波长周期结构金属的太赫兹表面等离子波特性,设计并制作了双层平行亚波长周期刻蚀金属板结构,该结构相较于单层结构,具有较好的低通特性,并且在表面波模式与波导模式之间有一能带间隙,可设计制作太赫兹带阻滤波器。改变两板间的距离可调节滤波器阻带特性。结合利用倾斜平板耦合器件,制作了带阻滤波器样品,阻带特性测试结果与仿真结果一致。(4)利用局域性表面波横模与纵模的电场方向垂直的特性,结合传播性表面等离子激元与局域性表面等离子激元的相互耦合,设计了十字型太赫兹分束器。通过波场分析,使用电子云模型解释了传播性表面等离子与局域性表面等离子激元相互转换过程,及其在太赫兹波分束过程中的作用。该分束器设计可以在较宽频段内实现在不改变入射波光学特性的情况下的分束。