【摘 要】
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摘要：基于双层SiNx薄膜在300～1000nm波段上的超宽带减反射特性,对传统的单层SiNx减反膜做了改进。利用软件PCID模拟分析了双层SiNx减反膜厚度变化或折射率变化对单晶硅太阳电池
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摘要：基于双层SiNx薄膜在300～1000nm波段上的超宽带减反射特性,对传统的单层SiNx减反膜做了改进。利用软件PCID模拟分析了双层SiNx减反膜厚度变化或折射率变化对单晶硅太阳电池电性能参数影响规律,研究了实验过程中内层薄膜厚度和折射率变化对太阳电池性能影响,并结合实验过程中获得的双层膜最佳折射率和厚度匹配值,制备了双层SiNx膜单晶硅太阳电池,然后和单层SiNx薄膜太阳电池相比较。分别测试了单晶硅太阳电池的反射率、量子效率、少子寿命、电性能参数等,结果显示改良后的双层SiNx减反膜比传统的单层膜具有更加优良的减反特性和钝化效果。沉积有双层SiNx减反膜的绒面单晶硅电池比沉积有单层SiNx减反膜的绒面单晶硅电池的平均反射率更小；开路电压升高了9mV；短路电流增大了0.27A；光电转换效率提高了0.3%。由此可见,双层SiNx薄膜具有优良的超宽带减反射特性和钝化效果,可以有效地提高工业生产中单晶硅太阳电池光电转换效率。
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