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磁控溅射制备TiAIN和TiAlSiN薄膜及其性能研究

来源 :东北大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户：aboutt

【作 者】

：

王桂阳 

【出 处】

：

东北大学

【发表日期】

：

2014年01期

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