随着制造水平的提高，高精度和高效率的性能指标成为电火花线切割加工技术进步与否的重要标准。而提供微小单个脉冲放电能量是微细电火花线切割脉冲电源的必然要求。单次放电能量的大小受脉冲宽度、开路电压的影响，经理论与实践证明减小脉冲宽度和降低开路电压是降低单个脉冲放电能量的有效途径。因此本文对如何获得更微小的单次脉冲放电能量进行研究。本文首先介绍了微细电火花线切割脉冲电源的发展状况，然后分析了采用低电压进行微细电火花线切割加工的特点，其优点是使单次脉冲放电能量更小，这一点有利于提高加工精度。然而选用低电压加工时产生的放电间隙很小，导致放电废屑排出困难，这一点限制了低电压加工的应用。在交叉学科密切融合的今天，超声技术的复合应用为我们解决上述问题提供了新思路，即利用超声的作用来排出放电间隙中火花放电产生的废屑和气泡。因此本文通过引用超声的方法来促进低电压加工环境下放电废屑的排出，并通过超声调制来达到减小单个脉冲有效放电脉宽的目的。本文选用DSP和CPLD作为电源的控制核心。超声电源通过检测电压和电流相位差来实现频率跟踪，频率跟踪主要通过DSP实现；调制部分通过结合超声信号来控制CPLD产生脉冲信号，调制部分主要在CPLD内部实现。运用本文设计的基于超声调制的微细电火花线切割脉冲电源进行加工实验，并与单一的电火花线切割脉冲电源的加工实验结果进行了对比。实验结果表明，超声的引入可以促进放电废屑的排出，能有效减少短路脉冲的数量，并且通过调制可以减小单个脉冲的有效放电脉宽。