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带有周期性名义变量的混合型数据聚类分析
【发表日期】
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2021年01期
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航空航天、石化和汽车等领域对于恶劣环境下的高温传感测试提出了更高的要求,然而现有的高温压力传感器难以在超过600℃的高温下稳定地工作。最近有研究表明,聚合物衍生陶瓷中的Si CN陶瓷在高温下依然具有优异的稳定性和高达1000～4200的压阻因子。但其压阻机理还未弄清,而相关薄膜结构的制备及分析对相关微纳传感器件的开发具有重要意义。本文通过磁控溅射法研究了不同工艺条件对Si CN薄膜压阻性能的影响。
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