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薄膜太阳电池是近年来太阳电池的发展方向和研究重点.典型的薄膜太阳电池如非晶硅太阳电池,硒铟铜太阳电池和碲化镉太阳电池,他们都以优异的材料和组件性能展示了薄膜太阳电池的广阔发展前景.TCO玻璃是大多数薄膜太阳电池的第一道工序,而薄膜太阳电池要想实现光伏组件价格从$3/W降到足以跟常规能源相竞争的$1/W,必须认真考虑研制新的低成本的TCO制备方法来打破目前TCO市场上由于技术垄断而造成的价格居高不下的局面.该文详细研究了使用超声喷雾热分解法来制备TCO的工艺过程和材料性能.