In(GaAl)PLED掺杂工艺和异质结弛豫机制的研究

来源 :复旦大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong558

【摘要】

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以InGaAlP为代表的四元化合物作为高亮度发光二极管(LED)材料正在引起广泛的重视.该论文针对高亮度发光二极管(LED)器件与材料,利用二次离子质谱(SIMS)分析手段研究了掺杂元

【作者】

：

纪刚

【机构】

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复旦大学

【出处】

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复旦大学

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

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发光二极管 InGaAlP 掺杂应变弛豫欧姆接触

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以InGaAlP为代表的四元化合物作为高亮度发光二极管(LED)材料正在引起广泛的重视.该论文针对高亮度发光二极管(LED)器件与材料,利用二次离子质谱(SIMS)分析手段研究了掺杂元素Mg在InGaAlP和Gap中随衬底温度及Cp<,2>Mg流量变化的掺杂行为.在该论文中还对金属-Ⅲ-Ⅴ族半导体间的欧姆接触进行了初步研究,简要说明了AuGeNi/n-GaAs系统的欧姆接触形成过程.

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